檢漏測(cè)試儀連接到個(gè)別用來(lái)容納需要被測(cè)試的包裝的測(cè)試腔。包裝被置于要被抽真空的實(shí)驗(yàn)腔內(nèi)。雙傳感器不僅用來(lái)監(jiān)測(cè)真空度同樣也監(jiān)測(cè)預(yù)定測(cè)試時(shí)間段中的真空變化。真空和真空差壓的變化暗示了當(dāng)前包裝中存在泄漏和缺陷。項(xiàng)測(cè)試的靈敏度取決于傳感器的靈敏度、包裝的形式、包裝測(cè)試時(shí)的夾具以及測(cè)試中的關(guān)鍵參數(shù):時(shí)間和壓力。

測(cè)試原理

真空度檢測(cè)儀采用磁控放電法行測(cè)量。將真空開(kāi)關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)定的距離，施加電場(chǎng)脈沖壓，將滅弧室置于螺線管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€圈置于滅弧室外側(cè)，向線圈通以大電，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與壓同步的脈沖磁場(chǎng)。這樣，在脈沖強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)電場(chǎng)的作用下，滅弧室中的帶電離子作螺旋運(yùn)動(dòng)，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對(duì)于不同的真空管型號(hào)(管型)，由于其結(jié)構(gòu)不同，在同等觸頭開(kāi)距、同等真空度、同等電場(chǎng)與磁場(chǎng)的條件下，離子電的大小也不相同。通過(guò)實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電間的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測(cè)知離子電后，就可以通過(guò)查詢?cè)摴苄偷碾x子電真空度曲線獲得該管型的真空度。

在常規(guī)磁控放電測(cè)試滅弧室的真空度時(shí)，為了提其測(cè)試靈敏度，需從斷路器上卸下滅弧室，并置于螺線管線管內(nèi)。這樣來(lái)，滅弧室在重新裝回?cái)嗦菲鲿r(shí)需要調(diào)整機(jī)械參數(shù)，作量很大并需業(yè)人員。而使用新型磁控線圈可以從側(cè)面包圍滅弧室，這樣就不拆卸滅弧室。而采用單片微機(jī)行同步控制與數(shù)據(jù)采集處理，提了滅弧室真空度的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試靈敏度。

真空度測(cè)試儀將滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)定的開(kāi)距，施加脈沖壓，將電磁線圈環(huán)繞于滅弧室的外側(cè)，向線圈通以大電，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與壓同步的脈沖磁場(chǎng)，這樣在脈沖磁場(chǎng)的作用下，滅弧室中的電子做螺旋運(yùn)動(dòng)，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對(duì)于不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電的大小也不相同，當(dāng)測(cè)知離子電后，通過(guò)離子電真空度曲線，由計(jì)算機(jī)自動(dòng)成真空度的計(jì)算，并顯示真空度值。